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真空设备

  • VTEX:True L-Motion Gate Valve电动门阀

    1568

    漏率[Pam3/s] : 阀框4.0X10-11,阀板1.3X10-10; 使用温度 :阀框90 [℃] ,阀板60 [℃] 开闭时间:1.2±0.2 [s],Port size336*50 材质:A5052铝镁合金,FKM密封件 寿命:300万次,震动/粉尘接近于零

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  • VTEX:T-Motion Gate Valve

    1727

     适用于FPD基板 G6~G11,搭载VTEX独创控制单元,开闭时间:4.0[s],参考开口高度250[mm];材质:铝合金,FKM密封件;寿命:100万次,低价、低震动、低发尘。

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  • 插板阀|ROLLCAM阀|摆阀|角阀等

    60

    1.插板阀:半导体、FPD、OLED行业设备用,低震动、低噪音、低PARTICLE;   2.小型ROLLCAM阀:尺寸NW40-50; 3.摆阀:分IPV,3PV,APC三种类型,用于真空泵-腔室之间的门阀或用于控制压力; 4.流量控制阀...

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  • 射频电源

    1909

    Bipolar系列电源:双极脉冲技术,光伏PECVD领军者,电气效率90%以上。特点:先进的电弧管理,高功率,高电流输出,低故障率是保证产能的重要因素。先进的功率平衡功能,保证产品的均匀性。广泛应用于光伏行业。

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  • 质量流量计

    1880

    Horiba(堀场): 多气体,多量程解决方案,广泛应用与半导体、光伏等行业,高精度±1%S.P.,响应快,多种信号通讯兼容。                            Brooks:最宽的流量和压力适用范围,高精度和可...

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  • 干泵

    1168

    德国普发系列干泵 日本Ebara系列干泵   台湾汉钟PS系列干泵        

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